河南石墨件

　　河南石墨件具有非常好的中子减速剂用于原子反应堆中，铀一石墨反应堆是目前应用相对较多的一种原子反应堆。作为动力用的原子能反应堆中的减速材料应当具有高熔点，稳定，耐腐蚀的性能，石墨完全可以满足上述要求。作为原子反应堆用的石墨纯度要求非常高，杂质含量不应超过几十个PPM。特别是其中硼含量应少于0.5PPM。在工业中还用石墨制造固体燃料火箭的喷嘴，宇宙航行设备的零件，隔热材料和防射线材料。

　　石墨还能防止锅炉结构，有关单位经过试验之后，在水中加入一定量的石墨粉，能够防止锅炉表面结构，此外石墨屠宰金属烟冲、桥梁、屋顶管道上可以防腐防锈。

　　石墨经过特殊加工之后，可以制作各种特殊材料用于相关的工业部门。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的河南石墨坩埚、河南石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。

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